マイクロオリガミを用いた光半導体素子

適応コミュニケーション研究所
久保田　和芳

力学的性質が互いに異なる積層膜の変形を利用して、あたかも折り紙を折るように半導体基板上に自動的に微小な立体構造を組み上げることが可能なマイクロオリガミ技術の概要とそれを用いた光半導体素子の試作例について述べる。

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