レーザマイクロビジョンで観るミクロの世界

（（株）ATR光電波通信研究所無線通信第二研究室　下田平　寛、笠原　史江

次世代の情報処理や高速・大容量通信を担う素子として活発な開発が進められている集積回路。高機能化や小型化を追及する過程で素子内部の細かな構造を簡単に、しかも非破壊で観る装置への期待が高まってきています。ATR光電波通信研究所で研究開発している「レーザマイクロビジョン」は、このような要求に応えるミクロの世界の内部を観察できる装置です。

本文へ