下田平寛
リアルタイムレーザマイクロビジョン
Abstract:当研究所で開発中のレーザマイクロビジョンは，1μmオーダの3次元構造を持つ物体内部を非接触，非破壊で診断，検査することを目的としたレーダの一種である．通常のレーダでは，物体にパルスを照射してエコーの遅延時間，すなわちインパルス応答を測定することにより物体内部の反射点位置を検出する．しかしこのパルス法（時間領域法とも呼ばれる）でμmオーダの空間分解能（定義1.1)を得るには，時間幅およそ10-15秒のパルスを発生させる複雑な光学系が必要となるため実用化には適さない．