TR-O-0084 :1995.3.31

山本悌二,稲井誠

MBE成長による(111)A面GaAs基板上への GaAs/AlGaAsの成長とその応用

Abstract:本報告書は、これまで結晶成長が困難であるために、物性の解明やデバイス化がほとんど行われていなかったGaAs(111)A面に関して、鏡面結晶成長法を確立し、更に、成長膜の物性、Si両性不純物の振る舞いやヘテロ構造の特性を解明し、GaAs(111)A面のデバイス基礎技術を確立することを目指して行われた研究の成果報告である。