参考文献

[1]　久保田和芳、パブロ・バッカロ、會田田人、「格子歪みを利用した3次元微細構造作製技術」第83回微小光学　第2回システムフォトニクス合同研究会｢MEMS－フォトニクスへの新展開－｣講演予稿集、29（2002）.

[2]　P. Vaccaro, K. Kubota and T. Aida,“Strain-driven self-positioning of micromachined structures”, Appl. Phys. Lett. 7, 2852（2001）.

[3]　K. Kubota, P. O. Vaccaro and T. Aida,“Fabrication of three-dimensional optical components using strained epitaxial growth on GaAs”, Proc. Int. Conf. Optical MEMS, D-2, 39（2001）.

[4]　K. Kubota, T. Fleischmann, S. Saravanan, P. O. Vaccaro and T.Aida,“Self-assembly of microstage using micro-origami technique on GaAs”, Jpn. J. Appl. Phys. Vol. 42, 4079（2003）.