似鳥耕一
GaAs(111)A面上におけるDBR用多層膜のMBE成長
Abstract:本研究では、GaAs(111)A基板上の光デバイスに応用可能なDBR反射鏡の基礎材料の確立を狙いに、Siを一様ドープしたGaAs/AlAs系の多層膜について系統的に検討を行った。高密度の表面欠陥発生により平坦な表面が実現されていなかったSiドープGaAs/AlAs多層膜の成長過程に検討を加え、①基板への僅かなオフ角度(～1゜）導入、②AIAs層への適量(～10%）のIn導入、によりDBR用多層膜の鏡面成長を初めて実現した。