TR-O-0036 :1990.12.14.

飯塚啓吾,藤井智史

テラヘルツ・イメージング・レーダ

Abstract:ATRの得意とする情報処理の能力とトロント大学で十数年来築いてきたレーダ技術の融合に依り、超解像度を誇るテラヘルツ・レーダが誕生した。 現行のレーダの最高解像度は数mm程度とされているが、本方式ではその約1,000倍の3 μmの解像度まで出すことができ、光の波長に迫る解像度を持っている[1]。 レーダの解像度としては世界最高である。 本レーダが超解像度を持つため、今まで考えられなかった様な用途が次々に表れた。例えば、髪の毛のように細い光ファイバの断面の測定や、IC基板中の欠陥検査等にも使用出来ることがわかった。